大家知道人的头发丝平均直径是0.07毫米,所以7纳米的概念是人头发丝1万分之一,我们就等于在人头发丝1万分之一这样的基础上加工,它的加工精度和重复要做到10万分之一。
看吧,在高倍的电子扫描镜下,如果将芯片放大一万倍,它的结构就像是密密麻麻的立交桥和高速公路,而这些高速公路,只有头发丝的万分之一那么宽。
就是这么精细!
这么微细的芯片,是怎么做出来的?
这就需要超高精度的三大类设备:第一是光刻机,第二是等离子刻蚀机,第三是铺上材料薄膜设备。
以光科技为例,说到底,对我国光刻机技术形成瓶颈制约的,主要是光学精密元器件的落后。
这个精度要高到何种程度?就说光刻机里的反光碗吧,现在最新的深紫外光刻机,就是用十几个反光碗,把一个激光打出来打在金属液滴上,通过多次聚焦变成一个平行光,来做曝光的。这个反光碗的加工精度,有人讲,是相当于德国国土的面积,这么大面积要平整到正负一毫米,在这样的精度下才能做出那样准确的反光碗。
3、这么精密的设备和技术,中国要掌握,怎么办?
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